紫外线照射后产生的荧光是一种特殊形态的冷光。当荧光分析的电子吸收了光子后能量提高，但是这种状态并不稳定，它会马上变回初始状态并把吸收的能量再次释放出来，发出荧光。由于部分能量转化成热量消耗了，所以发出的光线能量降低，波长也变长了。由于玷污物的荧光特性，通过一个含紫外光波的LED灯照射，徕卡清洁度设备即可探测出玷污物。仪器探头里的光电二极管负责测量UV荧光的强度。UV荧光越强表示污染程度越大，反之则越洁净。
对于平常清洁过程中的玷污物，徕卡清洁度设备的参数已经设计得尽可能合适。对于特殊的检验要求，它也可能适合LED的波长。由于有机物被UV光激发后具有很强的自体荧光特性，因此仪器能够检查出油、油脂和残余表面活性剂的玷污物。
此外，它也可能用于检查腐蚀或者已知厚度的蜡层。徕卡清洁度设备的测量原理是共焦法，即激发光线和被激发而产生的光线在同一平行辐射轨迹上。因此，探头的灵活定位和在线测量都易于实现。基于这种测试原理，对于构成中不含或者含有轻微荧光性原料的零件，仪器都可以检测其清洁度。
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